方案概述
针对半导体芯片制造、TFT-LCD制造、电子元件制造、印制电路板制造、电子终端产品制造等工艺中产生的各类废气,太阳成集团tyc7111cc深入研究并为其提供定制化的废气治理解决方案。这些废气主要源于生产过程中的多个工序,如薄膜沉积、光刻、刻蚀、清洗和涂覆等,包括CVD废气(含硅烷、氢气、氨气、含氟含磷废气等)、剥离液废气等在内的特气、酸性废气、碱性废气、有机废气等。针对泛半导体行业废气排放特点,我们深入研发,为泛半导体行业提供高效、可靠的废气治理方案。
方案内容
方案特点
专用预处理
保证系统高效、稳定运行
组合工艺设计
处理复杂成分及大风量废气
自动化程度高
投资、运行经济性良好
运行稳定
负压布置,废气处理达标排放
安全可靠
多重安全联动+防爆设计
核心产品